无尘室洁净度之维持和控制，除了硬件(设备)的投资外，也需要良好的软件—管理制度来搭配，才能保持良好的洁净度;无尘室运行和管理，可依作业人员、原物料、设备及无尘室内所用东西等加以探讨;无尘室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，系统运行维护及保养需要经过培训的专业人士来执行。

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